測量結果

測量系統配置的關鍵點

• 光學系統選擇

• 我們已經選擇了高性能光束NFP測量光學系統M-Scope型S。此外，單模光纖核心直徑在10UM左右很小，因此我們使用了一個中間的雙繼電器端口。結果，實際觀察場約為48UM x 38.4UM，像素分辨率為0.15UM。

• 檢測器選擇

• 該檢測器已被選為我們的INGAAS在紅外區域附近的高靈敏度，其測量波長為1550 nm，具有線性光學輸入/輸出特性，并且在輸入光方面非常持久。

• 客觀鏡頭

• 物鏡的測量波長為1550nm，并且在近紅外區域具有高度透射率，并且在近紅外區域實現了畸變校正，因此我們選擇了近紅外物鏡M-Plan M-Plan Apo NIR 100X。