日韩综合-www.青青草-超碰97免费-91久久综合亚洲鲁鲁五月天-深夜福利视频在线观看-亚洲精品国产精品乱码不卡√香蕉-黄色小视频免费在线观看-怡红院综合网-高清日韩-茄子视频懂你更多在线观看-91麻豆影视-欧美精品二区三区-亚州视频在线-九九热精-国产精品一级无码

網(wǎng)站首頁 ＞ 技術(shù)中心 ＞ ceratech真空吸盤（多孔吸盤）產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品中心

Product center

ceratech真空吸盤（多孔吸盤）產(chǎn)品介紹

發(fā)布時(shí)間：2024-08-13　點(diǎn)擊量：1462

ceratech真空吸盤（多孔吸盤）產(chǎn)品介紹

制造方法提高了多孔部分和基部之間的粘合性，并且即使在邊界處也形成了足夠平坦的表面。
因此，可以在晶片減薄工藝和需要大型基板的全表面吸附的制造工藝中提供高生產(chǎn)率和可靠性。
多孔體可以根據(jù)用戶需求靈活選擇材料和孔徑。
還可以在陶瓷底座中設(shè)置中空凹槽以用于冷卻目的。

image.png


特征

目的

  • 晶圓減薄工藝的加工夾具（研磨機(jī)、拋光機(jī)、CMP）

  • 各種測量裝置、檢查裝置的固定夾具

  • 用于加工薄膜片材、金屬基材等的固定夾具

　*根據(jù)用途也可提供表面涂層。 （脫模涂層、導(dǎo)電涂層等）

特性表

 型號(hào)密度g/ cm3彈性模量GPa彎曲強(qiáng)度MPa熱膨脹系數(shù)×10 -6 /K導(dǎo)熱系數(shù)W/m?K電阻值Ω·cm
氧化鋁A9953.93804507.330>10 14
多孔氧化鋁-2.555507.4-10 11
碳化硅標(biāo)準(zhǔn)品3.14105004.617010 6
多孔碳化硅-2.155504.7-10 6

技術(shù)介紹

◆吸附/固定機(jī)構(gòu)

　通過對多孔體施加負(fù)壓來吸附并固定被吸附物。

放大

◆空心槽一體化結(jié)構(gòu)

　陶瓷內(nèi)部形成中空結(jié)構(gòu)，因此無需擔(dān)心泄漏。

放大