X射線薄膜測厚儀的檢測原理及優勢
測厚儀（薄膜測厚儀）使用軟X射線（soft X-rays）。以非接觸方式（軟 X 射線）測量片材和板狀物體的厚度和密度（基重）。不是直接測量厚度，而是通過與參考材料比較來計算厚度和密度（基重）。
通常，為了測量片材寬度方向的厚度分布，檢測系統由掃描儀攜帶并測量。激光位移計一般用作非接觸式測量厚度的手段，但如果將激光位移計安裝在掃描儀上，則在運輸過程中只能以遠低于激光位移計的精度進行運輸。運輸，導致結果。高精度的測量是困難的。
另一方面，在X射線測厚儀等通過透射衰減估算厚度的方法中，測量的是空氣層-樣品-空氣層與透射之間的衰減，但樣品的衰減遠大于，傳輸的影響只表現為空氣層厚度的變化，影響較小。因此，可以高精度地測量。
X 射線測厚儀的一般特點
無需規定放射線處理負責人或X射線工作負責人或設置控制區域
（需要通知勞動標準檢查辦公室）
路徑錯誤可以忽略
元素依賴性大
與傳統的軟 X 射線測厚儀相比，我們的軟 X 射線測厚儀的特點
探測器和 X 射線源結構緊湊、重量輕，甚至可以安裝在狹窄的線路中。
寬測量范圍（材料/厚度）
采用
銅箔、鋁箔、不銹鋼箔
電池電極
陶瓷（片材、晶片）
玻璃纖維布
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